Protocollo di metrologia delle pareti laterali per dispositivi con qubit superconduttori

Abstract degli autori

La morfologia delle pareti laterali è un fattore potenzialmente importante per le prestazioni dei qubit superconduttori, ma la sua caratterizzazione quantitativa rimane difficile in assenza di protocolli di misurazione standardizzati. In questo lavoro sviluppiamo un quadro di misurazione basato sulla microscopia a sonda a scansione per caratterizzare quantitativamente le pareti laterali dei qubit superconduttori. Il quadro introduce un descrittore raffinato della rugosità laterale delle pareti, basato sul valore quadratico medio, e un nuovo raggio equivalente di curvatura per quantificare la morfologia verticale delle pareti laterali. I descrittori e le procedure di misurazione vengono applicati a diversi componenti dei dispositivi a qubit, gettando le basi per un protocollo proposto di caratterizzazione delle pareti laterali. Questo fornisce una base per confrontare quantitativamente i processi di fabbricazione tra laboratori e consente future indagini sulle correlazioni tra la geometria delle pareti laterali e le prestazioni dei qubit.